Technologien und Applikationen der UV-Tiefenlithographie: Mikroaktorik, Mikrosensorik und Mikrofluidik

Category

Thesis advisor:

GND

137355149

Büttgenbach, Stephanus

In Series:

Publications Institute of Microtechnology IMT
(2007)

In Series:

Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik
Vol. 20 (2007)

Date accepted:

01.02.2007

Date Issued:

2007

URN:

urn:nbn:de:gbv:084-2019012213580

DOI:

10.24355/dbbs.084-201901221357-0

ISBN:

978-3-8322-6146-7

Language:

German

Type of Resource:

Text

Extent:

221 Seiten

Place Term:

Aachen

Publisher:

Shaker

DDC:

621 Angewandte Physik

Location:

Publications of TU Braunschweig

Hosting institution:

04 - Mechanical Engineering

Comment:

Dissertation Technische Universität Braunschweig, 2007