Vollautomatische Kalibrierung von Parallelendmaßen mit Hilfe der Phasenverschiebungsinterferometrie

Es wird ein Verfahren vorgestellt, mit dem sich Parallelendmaße vollautomatisch kalibrieren lassen. Dabei werden alle wichtigen Kenngrößen inklusive einer Topographie der Endmaßmeßfläche in einem einzigen Meßvorgang bestimmt. Bei der Kalibrierung von Parallelendmaßen wird die Länge eines Parallelendmaßes mit einer bekannten Lichtwellenlänge in einem Interferenzkomparator (i. e. modifiziertes Michelson-Interferometer) verglichen. Zur Messung wird das Endmaß auf eine Anschubplatte angeschoben, so daß die Meßfläche des Endmaßes und die Anschubplatte eine Stufe bilden, die der Länge des Endmaßes entspricht. Im Interferenzkomparator ersetzen das Endmaß und die Anschubplatte einen der beiden Spiegel. Für die Interferenzphasenbestimmung wurde ein Interferenzkomparator für die Phasenverschiebungsinterferometrie umgerüstet. Dabei wird das Interferenzbild auf die Matrix einer elektronischen Kamera abgebildet. Es werden nacheinander einzelne Interferenzbilder aufgezeichnet, für die der Gangunterschied der interferierenden Wellen in definierter Weise verändert wurde. Aus diesen einzelnen Interferenzbildern läßt sich anschließend für jeden Bildpunkt die Interferenzphase berechnen. Über ein Steuer- und Auswerteprogramm erfolgt der Meßablauf vollautomatisch. Dazu steuert das Programm zunächst die Aufnahme der Interferenzbilder für die Berechnung der benötigten Interferenzphasen. Eine anschließende Bildauswertung lokalisiert u.a. das Endmaß im Gesichtsfeld und bereitet die Bilddaten auf, bevor die Kenndaten des Endmaßes vom Programm ermittelt werden.